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PHI 5000 VPIII 多功能型掃描微探針

PHI VersaProbe III是獨特的掃描 X射線單色化的 XPS設備，具有顯著的大面積和微區(qū)分析能力。其設計需求是為快速地，空間分辨分析固體表面的元素和化學態(tài)組成。PHI VersaProbe III 結合獨特的掃描單色化 X 射線和自動化樣品控制以及分析區(qū)域識別系統(tǒng)，可在自動化環(huán)境下實現化學態(tài)成像和多點圖譜分析功能。

  • 專利技術的聚焦掃描型X射線束用于樣品成像和分析，一個帶有多通道探測器的半球形能量分析器，一個高性能低能氬濺射離子槍，一個獨特和專利技術的電荷補償系統(tǒng)和一個大型五軸精密樣品臺。
  • 為多種技術系統(tǒng)配置設計的。所有激發(fā)源法蘭可安裝和對準到一個共同的分析位置，掃描 X 射線單色器可與其他所選激發(fā)源結合以實現多種表面分析技術聯(lián)用的功能，而且?guī)в懈哒婵諛悠分苽淝皇液蜆悠穫魉蜅U，VersaProbe III 可支持先進領先的研究項目。
  • 提供可選配的獨特的 Ar 氣團簇離子束（GCIB）和 C60 濺射離子槍用于有機和無機材料的表面清潔和薄膜深度剖析。
  • 使用 X射線光電子能譜儀(XPS) 能夠詳細地分析元素和化學態(tài)，通常也被稱為電子能譜化學分析儀（ESCA）。其一系列的功能提供了獨特的高性能 XPS 薄膜分析（深度剖析）能力。系統(tǒng)的獨特設計可自動分析不同類型的樣品而無需更改儀器設置或參數設定。
  • 基于一個超高真空分析腔室以保護樣品不受污染，可以對材料表面、 薄膜結構和表面污染進行清晰準確的元素和化學態(tài)表征。
  • 分析腔室由480 l/s 差分離子泵和鈦升華泵 (TSP)抽真空。而系統(tǒng)的預抽氣、 進樣腔室抽氣和對濺射離子槍的差分抽氣均由 67 l/s 的分子渦輪泵完成。由于該系統(tǒng)固有的真空清潔度，對于分析所有類型的樣品，碳氫化合物和其他污染都被降低到最小水平。
  • PHI VersaProbe III 的系統(tǒng)控制和數據處理都是通過一臺專用PC完成，其基于Windows ? 操作系統(tǒng)和安裝了專用軟件。

獨特的X射線源

  • PHI VersaProbe III 是由專利的高通量的X 射線源產生聚焦單色化的X射線束，可以在樣品表面掃描。

獨特的SXI ?掃描 X 射線成像

  • PHI VersaProbe III 可對樣品表面采集 X射線激發(fā)的二次電子像，類似于掃描電鏡采集的二次電子像?？捎肧XI 圖像選取分析領域，以保證采集到的圖譜即是所感興趣的圖像區(qū)域。通常1 到 5 秒即可采集一張SXI 圖像。

名副其實的 X 射線光電子能譜

  • 高分辨率 180 ° 半球形能量分析器提供功能全面的 XPS 分析能力包括 XPS全譜掃描、面分布、深度剖析、線掃描和角分辨分析。

高性能，低能量氬氣離子槍

  • 在高能量或低能量的離子作用下，氬氣離子槍可對樣品表面進行清潔，以及進行 XPS 化學深度剖析。這個獨特的功能使其可進行單分子層深度分辨率的濺射深度剖析。
  • 與聚焦X射線束相應，這種離子槍在濺射時可對樣品進行小范圍區(qū)域濺射，與傳統(tǒng)的XPS系統(tǒng)相比可提高濺射速率。

獨特的電荷中和/補償能力

  • PHI VersaProbe III 配有一套獨特的PHI專利 技術的雙束電荷中和/補償系統(tǒng)，其利用冷陰極電子流和氬離子濺射槍產生的極低能離子可以對所有類型的樣品進行荷電中和。

完備靈活的五軸樣品臺

  • 五軸軟件驅動的樣品臺可提供一個穩(wěn)定的具有高度準確性和重復性的分析平臺。X 和 Y ± 25mm的移動范圍可探測到水平 50mm的樣品表面而無需旋轉。
  • 常中心旋轉的功能用于定位微區(qū)樣品特征以進行離子刻蝕和分析。
  • 20mm的 Z 軸移動范圍使樣品操作靈活。
  • 0o 到 90o 的傾斜軸范圍可實現角分辨XPS 測量（帶有型號 279HCA 的樣品裝載）。

提供多種樣品放置類型：

  • 型號 190HC – 2 個：直徑25.4 mm (1 inch.)，不銹鋼樣品托可放置直徑達25.4 mm的樣品。
  • 型號 191HC – 2 個：直徑25.4 mm (1 inch)，不銹鋼樣品托，有凹槽適宜放置粉狀或塊狀樣品。凹槽大小為 10 x 20 x 5 mm （0.4 x 0.8 x 0.2 inches）。

冷/熱樣品臺選項

根據研發(fā)的需要，PHI VersaProbe III多功能的技術平臺可選項配備：

  • 10keV的C60離子槍
  • 雙陽極，非單色X射線源
  • 紫外線光源
  • 95毫米的樣品處理
  • 熱/冷樣品處理
  • 可選的AES電子槍
  • 真空轉移平臺 (Vacuum Transfer Vessel)
  • Micro-Electronics 微電子, 電子封裝
  • Polymer 高份子材料
  • Tribology 摩擦學
  • Magnetic 磁性材料, 硬盤, 藍光光盤
  • Display Industries 顯示工業(yè)
  • Graphene 石墨稀
  • Catalysis 催化劑
  • Energy related 能源產業(yè)
  • Glass 玻璃
  • Metal 金屬
  • Ceramic 陶瓷
  • Semi-conductors 半導體
  • Bio-Medical 生醫(yī)科學

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