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Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實驗室、半導體和數(shù)據(jù)存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學實驗室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統(tǒng)包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精確真實的納米尺度信息，卓越的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對大多數(shù)帶電或污染樣品進行超高分辨率研究。這些均為 Nova? NanoSEM 場發(fā)射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征。

Nova NanoSEM系列產(chǎn)品除先進的光學（包括雙模最終透鏡）、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內(nèi)探測和射束減速的強大組合功能之外，采用了最新一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測器的全新套件，并具備多功能SE/BSE 過濾功能，最大程度地優(yōu)化重要信息。智能掃描模式可用于最大程度減少假像。樣品清潔對于低電壓高分辨率成像至關重要，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免于碳氫化合物污染）加以維護。NovaNanoSEM 450 配置了最高 200 nA 射束電流和大型電動傾斜樣品臺，分析能力因此也大幅提升。一切均不會影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可使用其獨一無二的低真空能力表征或分析更多樣品，包括大多數(shù)非導電或污染材料。由于 FEI Helix? 探測器技術，低真空表征可一直擴展至超高分辨率。大小樣品均可輕易置入大型樣品室，并置于 Nova NanoSEM 高度精確且穩(wěn)定的樣品臺上。此外，高清相機和相關導航裝置可幫助迅速發(fā)現(xiàn)興趣所在區(qū)域并移至相應區(qū)域。

至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可提供最全面的整合工具集合，包括 16 位板載數(shù)字圖案生成器和專用制圖軟件、高速靜電射束熄滅裝置以及用于直接電子束寫入式納米結構的氣體注射系統(tǒng)。Nova NanoSEM 650 樣品臺配置了壓電驅(qū)動馬達，可在 150 x 150 mm 移動范圍內(nèi)完全實現(xiàn)更細致且更高的 XY 可重復性。